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GB/T 27788-2020.Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-Guidelines for calibrating image magnification.
1范围
GB/T 27788规定了使用适当的参考物质对扫描电镜(SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。
GB/T 27788适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。
GB/T 27788不适用于专用测长型扫描电镜。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 27025-2008检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC17025:2005,IDT)
ISO导则30标准样品常 用术语和定义( Reference materials- Selected terms and definitions)
ISO导则34标准样 品生产者能力的通用要求(General requirements for the competence of reference material producers)
ISO导则35标准样品定值的一般原则和统计方法( Reference materials-General and statistical principles for certification)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描电镜 scanning electron microscope
SEM
通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。
3.2
图像 image
由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。
注:用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。
3.3
图像放大倍率 image magnification
图像显示的线性尺度与试样.上被扫描区域的相应线性尺度之比。
3.4
标尺 scale marker
图像(3.2)上表示试样.上特定实际长度的线段或间隔。
3.5
参考物质 reference material
RM
一种或多种特性足够均匀和稳定的物质,已被确认适合于在测量过程中使用。
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